電(diàn)子潔淨實驗室(shì)施工的(dí)關鍵(jiàn)環(huán)節
潔(jié)淨(jìng)室圍護結(jié)構施(shī)工
牆(qiáng)體與(yǔ)吊頂(dǐng):彩(cǎi)鋼板拼接(jiē)需無縫密封,陰陽角(jiǎo)采用圓弧處(chǔ)理減少(shǎo)積(jī)塵。
門窗:氣(qì)密型(xíng)設計,帶(dài)閉門(mén)器和雙層(céng)玻(bō)璃(lí)觀(guān)察(chá)窗(chuāng)。
通風與過濾(lǜ)係(xì)統安(ān)裝
風管采用不(bù)鏽鋼或(huò)鍍鋅鋼板,內壁(bì)光滑防積(jī)塵(chén)。
HEPA/ULPA過(guò)濾(lǜ)器(qì)安裝(zhuāng)前需(xū)進(jìn)行泄(xiè)漏(lòu)測試(如(rú)PAO/DOP法)。
壓差控製:不同(tóng)潔(jié)淨區(qū)域壓(yā)差梯度(dù)≥5Pa(如(rú)核心(xīn)區>緩衝區>普通區(qū))。
電(diàn)氣與自(zì)控(kòng)係(xì)統
照明采用嵌(qiàn)入式(shì)潔淨燈,無(wú)塵,防(fáng)爆設計。
智(zhì)能(néng)化(huà)監控(kòng)係統:實時監測(cè)顆(kē)粒物(wù),溫濕度(dù),壓差(chà),能耗等數(shù)據。
備用電源(yuán):UPS或發(fā)電(diàn)機保障關(guān)鍵(jiàn)設備持(chí)續運行(háng)。
管(guǎn)道與輔助(zhù)設施
純水(shuǐ),超純水係(xì)統(tǒng):管路(lù)材質(zhì)為(wéi)PVDF或316L不鏽(xiù)鋼(gāng),循環防死水。
廢氣(qì)處(chǔ)理:酸(suān)性/有機廢(fèi)氣通過洗滌塔(tǎ)或活(huó)性炭(tàn)吸附處理(lǐ)。
真(zhēn)空,壓(yā)縮空(kōng)氣係(xì)統:終端配(pèi)置(zhì)高(gāo)精度過濾(lǜ)器(qì)。
通(tōng)過以(yǐ)上施工(gōng),可(kě)確保(bǎo)電子潔(jié)淨(jìng)實(shí)驗室滿(mǎn)足(zú)精密(mì)電子製(zhì)造(zào)與(yǔ)研(yán)發的嚴(yán)苛(kē)要(yào)求,同(tóng)時(shí)兼(jiān)顧效(xiào)率(shuài)與(yǔ)成本。建(jiàn)議委(wěi)托專(zhuān)業潔(jié)淨(jìng)工(gōng)程公司進行(háng)EPC總(zǒng)包(bāo)(設計-采購(gòu)-施工一(yī)體化),減(jiǎn)少(shǎo)多(duō)方(fāng)協調(tiáo)風險(xiǎn)。
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